Bikoreshwa kuri Passat lisansi isanzwe yumuvuduko wa gari ya moshi 06E906051K

1. Uburyo bwo gukora sensor sensor, ikubiyemo:

Gutanga insimburangingo ya semiconductor, aho icyiciro cya mbere cya dielectric interlayer, icyiciro cya mbere cya dielectric layer hamwe na kabiri ya dielectric ya interineti ikorwa kumurongo wa semiconductor.

Isahani ya electrode yo hepfo murwego rwa mbere rwa interineti ya dielectric, electrode yambere ya mutuelle iherereye kumurongo umwe na plaque ya electrode yo hepfo kandi itandukanijwe.

Guhuza ibice;

Gukora igitambo hejuru yicyapa cyo hepfo;

Gukora isahani yo hejuru ya electrode kumurongo wambere wa interineti ya dielectric, urwego rwa mbere rwihuza hamwe nigitambo;

Nyuma yo gushiraho igitambo na mbere yo gukora isahani yo hejuru, murwego rwa mbere rwihuza

Gukora umurongo wo guhuza, no kuzuza umurongo wo guhuza hamwe nisahani yo hejuru kugirango uhuze amashanyarazi nigice cyambere cyo guhuza; Cyangwa,

Nyuma yo gukora isahani yo hejuru ya electrode, guhuza imiyoboro ikorwa mumasahani yo hejuru ya electrode hamwe nigice cya mbere cyo guhuza,

Gukora urwego ruyobora ruhuza isahani yo hejuru ya electrode hamwe nigice cya mbere cyo guhuza imiyoboro ihuza;

Nyuma yo guhuza amashanyarazi isahani yo hejuru hamwe nigice cya mbere cyo guhuza, ukuraho igice cyibitambo kugirango ube umwobo.

2. Uburyo bwo gukora sensor yumuvuduko ukurikije ikirego 1, aho murwego rwa mbere

Uburyo bwo gushiraho igitambo kumurongo wa dielectric interlayer igizwe nintambwe zikurikira:

Gushyira ibikoresho byibitambo kumurongo wambere wa interineti ya dielectric;

Gushushanya ibikoresho byibitambo kugirango ube urwego rwibitambo.

3. Uburyo bwo gukora sensor yumuvuduko ukurikije ikirego cya 2, aho hakoreshwa Photolithography hamwe no gushushanya.

Ibikoresho byo gutamba byashushanyijeho inzira.

4. Uburyo bwo gukora sensor yumuvuduko ukurikije ikirego cya 3, aho urwego rwibitambo

Ibikoresho ni amorphous carbone cyangwa germanium.

5. Uburyo bwo gukora sensor yumuvuduko ukurikije ikirego cya 4, aho urwego rwibitambo

Ibikoresho ni karubone ya amorphous;

Imyuka ya gaz ikoreshwa mugikorwa cyo gutobora ibikoresho byibitambo harimo O2, CO, N2 na Ar;

Ibipimo murwego rwo gutondeka ibikoresho byibitambo ni: urwego rutemba rwa O2 ni 18 SCCM ~ 22 SCCM, naho umuvuduko wa CO ni 10%.

Igipimo cyo gutemba kiva kuri 90 SCCM kugeza 110 SCCM, umuvuduko wa N2 uri hagati ya 90 SCCM kugeza 110 SCCM, nigipimo cya Ar.

Urwego ni 90 SCCM ~ 110 SCCM, urwego rwumuvuduko ni 90 mtor ~ 110 mtor, kandi kubogama ni

540w ～ 660w。