Umuvuduko ukabije ni kimwe mubisanzwe. Umuvuduko ukabije wumuvuduko nigikoresho cyububiko, kandi guhindura igice cya elastike byerekana umuvuduko. Ariko, kubera ubunini n'uburemere, ntibashobora kubyara amashanyarazi.

Iterambere ryikoranabuhanga rya semiconductor naryo ryatumye havuka ibyuma byumuvuduko wa semiconductor. Irangwa nubunini buto, uburemere bworoshye, neza cyane hamwe nubushyuhe bwiza. Cyane cyane hamwe niterambere ryikoranabuhanga rya MEMS, sensor ya semiconductor iratera imbere mubyerekezo bya miniaturizasiya, gukoresha ingufu nke no kwizerwa cyane.

Uruhare rwumuvuduko

1. Byakoreshejwe mu buryo butaziguye gupima umuvuduko utandukanye: umuvuduko wumwuka, umuvuduko wa hydraulic, umuvuduko wa hydraulic (harimo n’umuvuduko wa hydraulic), umuvuduko wamaraso utandukanye mubuzima bwa buri munsi, nibindi.;

2. Ibyuma byerekana ingufu bikoreshwa mumodoka, moto zimwe zindobanure na moteri zose zo gutwika imbere;

3. Urwego rwamazi: Ibikoresho byo mumurima bikoreshwa mugupima urwego rutandukanye rwamazi ni sensor sensor;

4. Ibyapa byinshi bipima ibyuma bya elegitoronike hamwe nibimenyetso bipima ibinyabiziga biva mubyuma byerekana ingufu.

Ibyuma byumuvuduko bikoreshwa cyane cyane kugenzura no kugenzura porogaramu zimwe. Mu nganda zitwara ibinyabiziga, ibyuma byerekana ingufu za MEMS bikoreshwa cyane mu gupima umuvuduko wa lisansi, umuvuduko w’ipine, umuvuduko w’umuyaga, n’umuvuduko w’imiyoboro. Mu murima wa biomedical, sensor ya MEMS ikoreshwa cyane muri sisitemu yo gusuzuma no gutahura; Mu nganda zo mu kirere, ibyuma byerekana ingufu za MEMS bikoreshwa cyane cyane mu kugenzura icyogajuru hamwe n’icyogajuru;